| 類(lèi)型 | 品名 | 規格 | 純度 工藝 | 工藝 |
| 陶瓷靶材 | Nb2O5 | 按客戶(hù)需求定制 | 99.99% | 噴涂、CIP+燒結 |
| SiO2 | 99.999% | 熔煉 | ||
| Al2O3 | 99.99% | 燒結 | ||
| HfO2 | 99.99% | 燒結 | ||
| Ta2O5 | 99.99% | 燒結 | ||
| 合金靶材 | SiZr | 99.99% | 噴涂 | |
| 單質(zhì)靶材 | Si | 99.999% | 拉晶生長(cháng)、噴涂、燒結 | |
| Nb | 99.95% | 燒結、熱等靜壓 | ||
| Ta | 99.95% | 熱等靜壓 | ||
| Hf | 99.9% | 熱等靜壓 | ||
| Zr | 99.9% | 熔煉 | ||
| Al | 99.999% | 熔煉 | ||
| Cr | 99.95% | 熱等靜壓 | ||
| Ti | 99.999% | 熱等靜壓 |
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